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1、真空区域划分（GB3163） |
真空区域 |
压强范围 |
托（Torr） |
帕（Pa） |
低真空 |
760-10 |
101325-1333 |
中真空 |
10-10-3 |
1333-1.33×10-1 |
高真空 |
10-3 -10-8 |
1.33×10-1-10-6 |
超高真空 |
10-8-10-12 |
10-6-10-10 |
极高真空 |
＜10-12 |
＜10-10 |
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2、不同压强下空气分子密度 |
压强（Torr） |
1 |
10-3 |
10-4 |
10-5 |
10-6 |
10-9 |
密度（个/厘米3) |
4×1016 |
4×1013 |
4×1012 |
4×1011 |
4×1010 |
4×10 |
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3、常用压强单位换算表 |
单位 |
帕
Pa |
托
Torr |
微米汞柱μmHg |
微巴
μbar |
毫巴
mbar |
大气压
atm |
工程大气压am |
英寸汞柱inHg |
磅/英寸2 lb/in2 |
Pa |
1 |
7.5х10-3 |
7.5 |
10 |
10-2 |
9.86923 х10-6 |
1.0197х10-5 |
2.953 х10 -4 |
1.450 х10 -4 |
1Torr |
133.32 |
1 |
103 |
1333.2 |
1.3332 |
1.31579х10-3 |
1.3595х10-3 |
3.937х10-2 |
1.934 х10-2 |
1μmHg |
0.13332 |
10-3 |
1 |
1.3332 |
1.3332 х10-3 |
1.31579х10-6 |
1.3595х10-6 |
3.937х10-5 |
1.934 х10-5 |
1μbar |
10-1 |
7.5х10-4 |
7.5х10-1 |
1 |
10-3 |
9.86923 х10-7 |
1.0197х10-6 |
2.953 х10-5 |
1.450 х10-5 |
1mbar |
102 |
7.5х10-4 |
7.5х102 |
103 |
1 |
9.86923 х10-4 |
1.0197х10-3 |
2.953 х10-2 |
1.450 х10-2 |
1atm |
101325 |
760 |
760х103 |
1013.25 х103 |
1013.25 |
1 |
1.0333 |
29.921 |
14.696 |
1am |
98066.3 |
735.56 |
735.56 х103 |
980663 |
980663х10-3 |
0.967839 |
1 |
28.959 |
14.223 |
1inHg |
3386 |
25.4 |
25.4 х103 |
3.386х104 |
33.86 |
3.342 х10-2 |
3.453х10-2 |
1 |
4.912х10-1 |
1lb/in2 |
6895 |
51.715 |
51.715 х103 |
6.895 х104 |
68.95 |
6.805х10-2 |
7.031 х10-2 |
2.086 |
1 |
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4、各种橡胶特性表 |
橡胶种类 |
天然橡胶 |
丁基橡胶 |
丁腈橡胶 |
氟橡胶 |
特性1 |
耐水性，耐酸性，耐碱性良好 |
渗透率小 |
耐油良好 |
23型耐强酸 |
特性2 |
出气量较大 |
升华严重 |
弹性较好 |
26型渗透率低出气率小 |
真空范围 |
1×10-5托 |
10-7托 |
10-8托 |
10-8托 |
温度 |
－30~80℃ |
－30~150℃ |
－30~120℃ |
-20~200℃ |
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5、1号真空泵油的主要性能指标 |
项目 |
运动粘离(厘泊) |
闪点(℃) |
饱和蒸汽压20℃时(托) |
比重(克/厘米3) |
分子量(克) |
KK-1 |
50℃时(47~57)100℃时(8~11) |
不低于15 |
不高于4×10-5 |
0.86 |
333 |
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6、真空术语 |
1、真空的含义及特点：
在真空科学中，真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态。人们通常把这种稀薄的气体状态称为真空状态。这种特定的真空状态与人类赖以生存的大气状态相比，具有如下特点：
·真空状态下的气体压力低于一个大气压；
·真空状态下由于气体稀薄，单位体积内的气体分子数，即气体的分子密度小于大气压下的气体分子密度；
·真空状态下由于分子密度的减小，因此作为组成大气组分的氧、氢等气体含量（也包括水分的含量） 相应减少。
2、抽气速率[单位：m3/s；L/s；m3/h；cft/min（立方英尺/分）]
当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在实验罩上指定位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。
3、极限压力（极限真空）（单位：Pa）
泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的最低的稳定的压力 。 |
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